학회리뷰
- 김민석
- 김시현
- 2025.07.03
- 153
-참석일: 2025년 7월 3일 – 4일
-학회 후기
2025년 7월, 일본 나라에서 열린 AWAD 2025 학회에 참석했습니다. 학회는 1박2일 동안 열렸고, 오랄 세션과 포스터 세션으로 진행되었습니다. 각 세션에서 전력반도체, 메모리 반도체, 로직 반도체, 로보틱스, 양자 컴퓨터, 센서 등 다양한 종류의 반도체 소자에 대한 발표를 들으며 최신 기술 트렌드를 파악할 수 있었습니다. 특히, 제가 연구하는 강유전체 소자 분야에 대한 발표가 인상 깊었으며, 앞으로의 연구에 대한 영감도 얻을 수 있었습니다.
-발표 후기
제가 발표한 주제는 " Back-End-of-Line Compatible Metal-Ferroelectric-Insulator-Silicon Capacitor with Al2O3 Insulator: Ferroelectricity Enhancement by ZrO2 Seed Layer"으로 MFIS 구조에서 HZO 박막 사이에 ZrO2 seed layer를 적용하여 BEOL 단 호환 가능하도록 저온 열처리에서 강유전성을 발현시켰습니다. 포스터 세션에서 발표했고, 1시간 30분 동안 진행되었습니다. 발표 시간 동안 여러 연구자들에게 질문을 받았고, 특히 강유전체 소재와 메모리 반도체 소자를 연구하는 분들과 많은 얘기를 나눴습니다. 저온 강유전성 발현 외에 다른 장점은 없는지, 실제 FeFET 소자에도 seed layer engineering을 적용할 생각이 있는지 등을 얘기하며 앞으로의 연구 방향에 대해서도 생각해볼 수 있는 계기가 되었습니다.
