수상·소식
- 관리자
- 2025.02.05
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강석주 교수 연구팀,
국제 유명 저널 'IEEE TIM’ 논문 게재
▲(왼쪽부터) 황예은 석사과정, 송민서 석사과정, 강석주 전자공학과 교수
전자공학과 강석주 교수 연구팀(황예은 석사과정, 송민서 석사과정)이 삼성전자 반도체연구소 CSE팀과 공동 연구를 통해 국제 유명 저널 IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement(TIM)에 논문을 게재했다.
논문 제목은 ‘SO-Diffusion: Diffusion-based Depth Estimation from SEM Images and OCD Spectra’로, 연구팀은 주사전자현미경(SEM)으로 촬영한 반도체 이미지와 광학적 임계치수(OCD) 스펙트럼을 활용하여 반도체 구조를 예측하는 새로운 모델을 제안했다. 특히, CNN 기반의 스펙트럼 인코더(SEFO)를 개발해 OCD 스펙트럼을 효과적으로 전처리하고, 이를 SEM 이미지와 함께 diffusion 기반 네트워크에 적용함으로써 반도체 구조 예측의 정확도를 향상시켰다. 그 결과, 기존 모델보다 SEM 이미지와 OCD 스펙트럼을 활용한 반도체 깊이 예측 성능이 기존 모델 대비 크게 개선되었음을 확인했다.
이번 연구에 참여한 황예은 석사과정생은 “석사 과정 중에 IEEE TIM에 논문을 게재할 수 있어 매우 영광스럽다”라며, “삼성전자 CSE팀의 지원과 교수님의 지도 덕분에 좋은 결과를 얻을 수 있었다. 반도체 연구가 활발히 진행되는 만큼, 이번 연구를 기반으로 다양한 후속 연구가 이어지길 기대한다”라고 소감을 전했다.
논문에서 제안한 SO-Diffusion 네트워크의 전반적인 구조